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Gasnachreiniger/ Analysesysteme

Gasnachreiniger/ Analysesysteme

Bestimmte Anwendungen von Gasen erfordern sehr hohe oder gar die technisch überhaupt höchsten darstellbaren Reinheiten für die dabei eingesetzten Gase. Ein Beispiel dazu liefert die heutige Mikroelektronik auf SLSI-Niveau (SLSI = Super Large Semiconductor Integration).


Das dort vorwiegend verwendete Grundmaterial Silizium kann z.B. durch das Czochralski-Verfahren bis auf Reinheiten von 99,99999999 %, oder nach der Gase-Punktnotation auf "10.0", gebracht werden. Die Reinheiten der z.B. bei Hochtemperatur-Prozessen verwendeten Schutzgase müssen mindestens ebenfalls in diesen Bereichen liegen.

Allerdings steigen die Kosten für die Reinstdarstellung von Gasen und der dazu notwendigen Qualitätskontrolle überproportional mit der erzielten Reinheit an.

Es ist daher unwirtschaftlich, die Reinheit von in großen Mengen produzierten Gasen an den Qualitätsbedürfnissen einer Minderheit von sehr anspruchsvollen Kunden zu orientieren. Wirtschaftlicher ist es, für diesen Anwendungskreis besondere Methoden für eine kundenbezogene Nachreinigung und Qualitätskontrolle bereitzustellen. Linde bietet für diese Anwender ein komplettes, je nach Anwendungsprofil optimierbares Versorgungssystem für höchste Gasreinheiten an.

Dies beginnt möglicherweise mit einer On-site Luftzerlegungsanlage, welche heute Stickstoff bis zur Reinheit 8.8 und gleichzeitig Sauerstoff 6.0 darstellen kann. Diese ist natürlich nur dann wirtschaftlich, wenn der überwiegende Anteil (ca. > 60 %) des verbrauchten Gases in dieser hohen Reinheit benötigt wird. Im anderen Fall wird man die Reinheit bei der Erzeugung auf 6.0 oder 7.0 zurücknehmen und für den geringeren Anteil einen katalytischen oder getterbasierten Gase-Nachreiniger installieren. Das gilt allgemein auch bei der Versorgung mit tiefkalt verflüssigten Gasen, die in der Regel in den oben zitierten Reinheiten hergestellt werden (Ausnahme: Flüssigwasserstoff erzielt ohne Nachreinigung Qualitäten bis 9.0). Gasnachreiniger arbeiten vollautomatisch unterbrechungsfrei über viele Jahre und benötigen nur wenig Wartung.

Um die korrekte Arbeitsweise der Gasnachreiniger zu prüfen und um Rekontaminationen, z.B. durch Fehler im Gasverteilungssystem aufzuspüren, wird in der Regel nach den Gasnachreinigern ein vollautomatisch, kontinuierlich und simultan messendes Gasanalysen-System installiert. Damit können Nebenbestandteile in den meisten Bulkgasen bis in den niederen ppt-Bereich nachgewiesen werden. Diese Systeme verfügen über Eigenkalibrierung, Alarmfunktionen, permanente Meßdaten-Speicherung, DFÜ-Fähigkeit und sind durch graphische Benutzeroberflächen einfach bedienbar.

Je nach Wunsch können solche Systeme gekauft oder gemietet werden. Auf jeden Fall bietet Linde Wartungs-Dienstleistungen für alle o.g. Systeme an. Diese erfolgen aufgrund der vorliegenden langjährigen Betriebserfahrungen besonders wirtschaftlich.


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