Jahrzehntelange Erfahrung in der Analytik von Prüfgasen (z.B. mit korrosiven Komponenten) und mit der Spurenanalytik in Reinstgasen haben die Anwendung und Optimierung von Analysenverfahren auch zur Qualitätskontrolle von Elektronikgasen unterstützt. Parallel dazu wurden spezielle Probenahmetechniken vor allem für korrosive Gase und für die Metallspurenanalytik entwickelt.
Zur Qualitätskontrolle stehen modernste Methoden der Gaschromatographie, (FT-) Infrarot-, Atomabsorptions- und
(ICP-) Massenspektrometrie sowie der Partikelmessung zur Verfügung.
Im Rahmen der Endprüfung werden für jede Flaschenfüllung
im Kontrollzertifikat Aussagen zu Reinheit und Einzelspezifikationen des Produktes gemacht.
Qualität - Qualitätsmanagement bei Elektronikgasen
Für den Bereich der Elektronikgase bedeutet die Qualitätszertifizierung nach DIN EN ISO 9001, daß nicht nur
an der gefüllten Flasche eine Qualitätskontrolle in Form einer Ausgangsanalytik durchgeführt wird, sondern bei jedem Produktionsschritt Zwischenprüfungen zur Prozeßkontrolle erfolgen. Die Ergebnisse dieser Prüfungen werden z. B. bei der Behältervorbehandlung in Form von SPC-Daten regelmäßig ausgewertet und zur ständigen Prozeßverbesserung herangezogen.
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