Komplette Gas- versorgungs- systeme

Alles aus einer Hand

Linde kennt und beherrscht die Eigenschaften der Gase und die daraus resultierenden Anforderungen an die Ausrüstung und kann deshalb optimale Gesamtlösungen anbieten.

Problemlösungen

Vor Ort werden die Kundenwünsche und -vorstellungen aufgenommen. Auf Basis der kundenspezifischen Gegebenheiten wird ein Konzept entwickelt und dem Auftraggeber in Form eines Angebotes unterbreitet. Sind mehrere Lösungsvarianten möglich, so wird gemeinsam mit dem Anwender die optimale Lösung herausgearbeitet.

Linde liefert schlüsselfertige Anlagen für nahezu alle Anwendungen in Forschung, Entwicklung und Produktion.

Unsere Leistungen:

Beratung
Konzeptentwicklung
Planung
Projektierung
Montage
Inbetriebnahme
Dokumentation
Service

	Komplette Gas- versorgungs- systeme - Für jede Anwendung die richtige Ausrüstung

Gasart und benötige Reinheit sind durch die Anwendung vorgegeben. Davon ausgehend sind entsprechende Anforderungen an die Gasversorgung zu stellen. Bei der Planung werden Art und Beschaffenheit der Ausrüstung durch unsere Ingenieure so spezifiziert, daß ein Optimum hinsichtlich Sicherheit, Wirtschaftlichkeit und Erfüllung der anwendungsspezifischen Anforderungen erreicht wird. Im folgenden wird anhand von typischen Komponenten eines Spezialgase-Versorgungssystems gezeigt, wie sich dessen Spezifikation bei unterschiedlichen Anforderungen darstellt.

Versorgungsanlagen für technische Gase werden hier nicht behandelt. Zur Auswahl von Einzelkomponenten hierfür siehe unsere Broschüre "Zentrale Gaseversorgung".

Ausführung der Komponenten in Spezialgase-Versorgungssystemen
Gasreinheit	Klasse 5.0	Klasse 6.0	Klasse 6.0 und höher sowie Halbleiter-prozeßgase
Druckminderer	Werkstoff Messing oder Edelstahl spezialgereinigt, He-Leckrate < 10^-7 mbar l/s, Membran aus Elastomer oder metallischem Werkstoff	Werkstoff vorwiegend Edelstahl spezialgereinigt, He-Leckrate < 10^-9 mbar l/s, Membran aus Edelstahl	Werkstoff Edelstahl elektropoliert, hohe Oberflächengüte, He-Leckrate < 10^-9 mbar l/s, Membran aus Edelstahl, minimierter Totraum, buntmetallfrei, im Reinraum montiert, geringste Partikelemission
Ventile	Membranabdichtung, selten Stopfbuchspackung oder O-Ring-Dichtung	Membranabdichtung Faltenbalgabdichtung	Membranabdichtung, Faltenbalgabdichtung, elektropoliert, minimierter Totraum
	Werkstoff Kupfer oder Edelstahl spezialgereinigt	Werkstoff Edelstahl spezialgereinigt oder elektropoliert	Werkstoff Edelstahl elektropoliert
Rohrver- bindungen	flußmittelfrei hartgelötet orbitalgeschweißt	orbitalgeschweißt	orbitalgeschweißt
Lösbare Verbindungen	metallisch dichtende Klemmringver-schraubungen	metallisch dichtende Klemmringverschraubungen metallisch dichtende VCR-Verschraubungen	metallisch dichtende VCR-Verschraubungen
Anwendungs- beispiele	Gasversorgung für allgemeinen Laborbedarf, von Gasanalysatoren, Produktionsanlagen mit hochwertigen Betriebsgasen, z.B. CO₂-Lasern, zur Lampenherstellung, Erzeugung von Spezialkeramik und Sondermetallen	Gasversorgung für Laborbedarf mit hohen Gasreinheiten, von Gasanalysatoren mit Prüfgasen im ppm-Bereich und/oder korrosiven Beimengungen, von Produktionsanlagen mit Gasen und Gasgemischen höchster Reinheit, z.B. Excimer-Lasern, zur Herstellung von Lichtwellenleitern, von diskreten Bauelementen und weniger hochintegrierten Schaltkreisen.	Gasversorgung für F + E mit extremen Gasreinheiten, z.B. in der Mikroelektronik, von Produktions-anlagen mit Gasen und Gasgemischen extremer Reinheit sowie mit korrosiven und toxischen Prozeßgasen, z.B. für höchstintegrierte Schaltkreise, Sensoren, Solarzellen

	Komplette Gas- versorgungs- systeme - Kontakt

Name: Dr. Reinhold Schneider

Telefon: +49 89 31001 274

Fax: +49 89 31001 275

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